光譜共焦測(cè)量透明件的平整度和厚度

　　

　　光譜共焦傳感器特點(diǎn)

　　

　　1、光譜共焦傳感器和傳統(tǒng)三角測(cè)距法比較

　　

　　三角測(cè)距是利用感光元件(CCD/CMOS)上的光點(diǎn)位置變化來測(cè)量被測(cè)物的距離變化。雖然通過從感光波形計(jì)算出峰值或重心等特征量可減小誤差，但從原理上，材質(zhì)不同或?qū)ο笪飪A斜會(huì)導(dǎo)致感光波形出現(xiàn)位置偏差或波形混亂，從而產(chǎn)生測(cè)量誤差

　　

　　測(cè)量點(diǎn)錯(cuò)位問題

　　

　　使用傳統(tǒng)三角測(cè)距法時(shí)，隨著高度不同，測(cè)量位置或光斑大小會(huì)發(fā)生改變。而光譜共焦傳感器的同軸共焦原理可以保證即使被測(cè)物存在傾斜或翹曲，也可進(jìn)行高精度的測(cè)量，測(cè)量點(diǎn)不會(huì)改變。

　　

　　2、光譜共焦傳感器可穩(wěn)定測(cè)量任何材質(zhì)表面

　　

　　3、光譜共焦傳感器*角度特性，zui大可測(cè)傾角87度

　　

　　針對(duì)鏡面、透明、半透明體表面也可以有*角度特性

　　

　　傳統(tǒng)三角測(cè)距法，測(cè)量鏡面體時(shí)，對(duì)傳感器的安裝角度有苛刻的要求。在使用多頭測(cè)量玻璃或柔性樣品厚度的應(yīng)用中，安裝時(shí)必須對(duì)各個(gè)傳感器進(jìn)行高精度的角度調(diào)整。使用光譜共焦傳感器，無需嚴(yán)格的角度調(diào)整就可進(jìn)行高精度測(cè)量。即使被測(cè)物在運(yùn)動(dòng)過程中的跳動(dòng)也不會(huì)對(duì)測(cè)量造成過大影響。

　　

　　4、光譜共焦傳感器可同時(shí)測(cè)量并輸出位移和厚度

　　

　　透明件的平整度和厚度可同時(shí)測(cè)量

　　

　　鏡面、透明、半透明體表面也可以有*角度特性傳統(tǒng)三角測(cè)距法，測(cè)量鏡面體時(shí)，對(duì)傳感器的安裝角度有苛刻的要求。在使用多頭測(cè)量玻璃或柔性樣品厚度的應(yīng)用中，安裝時(shí)必須對(duì)各個(gè)傳感器進(jìn)行高精度的角度調(diào)整。使用共焦位移傳感器，無需嚴(yán)格的角度調(diào)整就可進(jìn)行高精度測(cè)量。即使被測(cè)物在運(yùn)動(dòng)過程中的跳動(dòng)也不會(huì)對(duì)測(cè)量造成過大影響。